適用于高級(jí) OEM 氣體系統(tǒng)的理想產(chǎn)品

高靈敏度壓力控制增強(qiáng)質(zhì)量流量控制器 (MFC) 性能

在廣泛應(yīng)用中提供優(yōu)越性能

流量:2SCFM 至 120SLPM

在微型元件中提供出色的壓降和重復(fù)性

膜片與閥體之間采用金屬對(duì)金屬設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)一流的密封性

內(nèi)部表面光潔度為 10Ra 或 5Ra 微英寸

符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規(guī)格

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