內部表面光潔度為 10 Ra 微英寸/0.25 微米
閥膜與閥體之間采用金屬對金屬密封,提供一流的密封性
內部經(jīng)全面電解拋光處理
旨在減少半導體氣體系統(tǒng)中的壓力波動
滿足嚴苛的半導體行業(yè)的使用點和
氣瓶應用要求
64-3600 系列超高純度、高靈敏度減壓型調壓器提供低壓降、束縛閥膜設計,具備 10Ra/0.25 微米表面光潔度以及可選的 Hastelloy? 閥內件。入口壓力為 600 或 3500psig(41.4bar 或 241bar),出口壓力可高達 150psig (10.3bar)。非常適合用于 1/4" 使用點、氣瓶柜、半導體制造和閥箱。