小金井（KOGANEI）精密不銹鋼調(diào)壓閥PRS系列
 
液晶、半導(dǎo)體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制，潔凈空氣、氣體壓力控制等的高精度設(shè)定（感度0.001MPa）。
 
  
壓力設(shè)定
  MPa            處理空氣量      配管連接口徑
0.01～0.25  0～250 l/min    M5～Rc1/4

小金井（KOGANEI）選型資料